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检测设备及其检测方法
被引：0
申请号：
CN202110124120.2
申请日：
2021-01-29
公开(公告)号：
CN114695154A
公开(公告)日：
2022-07-01
发明(设计)人：
陈鲁
李青格乐
魏林鹏
张嵩
申请人：
申请人地址：
518109 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
代理机构：
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人：
高静
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20210129 |
| 2022-07-01 | 公开 | 公开 |