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检测设备及其检测方法

被引：0
申请号：
CN202110616308.9
申请日：
2021-06-02
公开(公告)号：
CN115437222A
公开(公告)日：
2022-12-06
发明(设计)人：
陈鲁 李青格乐 魏林鹏 张嵩
申请人：
申请人地址：
518109 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人：
高静
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-12-06 公开 公开
2022-12-23 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20210602
共 50 条
[1]
检测设备及其检测方法 [P]. 
陈鲁 ;
李青格乐 ;
魏林鹏 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114695154A ,2022-07-01
[2]
检测设备及其检测方法 [P]. 
陈鲁 ;
李青格乐 ;
魏林鹏 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114695154B ,2025-12-09
[3]
检测设备及其检测方法 [P]. 
陈鲁 ;
李青格乐 ;
魏林鹏 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114688972B ,2024-04-02
[4]
检测设备及其检测方法 [P]. 
陈鲁 ;
李青格乐 ;
魏林鹏 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114688973A ,2022-07-01
[5]
检测设备及其检测方法 [P]. 
陈鲁 ;
李青格乐 ;
魏林鹏 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114688973B ,2024-06-04
[6]
检测设备及其检测方法 [P]. 
陈鲁 ;
李青格乐 ;
魏林鹏 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114688972A ,2022-07-01
[7]
检测设备及其检测方法 [P]. 
陈鲁 ;
王南朔 ;
马砚忠 ;
张朝前 ;
卢继奎 .
中国专利 :CN112082602A ,2020-12-15
[8]
检测设备及其检测方法 [P]. 
陈鲁 ;
李青格乐 ;
张军 ;
林飞 ;
张嵩 .
中国专利 :CN112929569A ,2021-06-08
[9]
检测设备及检测方法 [P]. 
陈鲁 ;
白园园 ;
马砚忠 ;
张嵩 .
中国专利 :CN113514399A ,2021-10-19
[10]
检测设备及检测方法 [P]. 
陈鲁 ;
白园园 ;
马砚忠 ;
张嵩 .
中国专利 :CN113514399B ,2024-09-17
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