一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610587101.2

申请日：

2016-07-22

公开(公告)号：

CN106289068A

公开(公告)日：

2017-01-04

发明(设计)人：

张鸣朱煜倪畅成荣杨开明叶伟楠王磊杰丁思奇崔健章

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

G01B902

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-30	授权	授权
2017-01-04	公开	公开
2017-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101700807368 IPC(主分类):G01B 11/02 专利申请号:2016105871012 申请日:20160722

共 50 条

[1]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

杨开明 ;

刘召 ;

成荣 ;

刘昊 ;

徐登峰 ;

叶伟楠 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

田丽 ;

张金 ;

胡金春 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

秦慧超 .

中国专利 :CN103307986A ,2013-09-18

[2]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

吴亚风 ;

刘召 ;

杨开明 ;

成荣 ;

徐登峰 ;

穆海华 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

胡楚雄 ;

祁利山 .

中国专利 :CN103759656B ,2014-04-30

[3]

一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

刘召 ;

成荣 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

叶伟楠 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

秦慧超 ;

田丽 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN103322927B ,2016-04-20

[4]

二自由度外差光栅干涉仪 [P].

王磊杰 ;

朱煜 ;

叶伟楠 ;

左征荣 ;

张鸣 ;

成荣 ;

郭子文 .

中国专利 :CN113701645A ,2021-11-26

[5]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统及方法 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

兰斌 ;

王磊杰 ;

成荣 ;

杨开明 ;

鲁森 ;

丁思琪 ;

徐登峰 ;

胡金春 ;

尹文生 .

中国专利 :CN105823422B ,2018-08-28

[6]

基于光学倍程法的二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

吴亚风 ;

刘召 ;

徐登峰 ;

成荣 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

杨开明 ;

胡金春 ;

胡楚雄 ;

祁利山 .

中国专利 :CN103759657A ,2014-04-30

[7]

二自由度外差光栅干涉测量系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

王磊杰 ;

杨富中 ;

成荣 ;

李鑫 ;

叶伟楠 ;

胡金春 .

中国专利 :CN108627100B ,2018-10-09

[8]

一种外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

胡金春 ;

陈龙敏 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

穆海华 .

中国专利 :CN102944176A ,2013-02-27

[9]

二自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法和六自由度干涉仪 [P].

胡鹏程 ;

王嘉宁 ;

常笛 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN112444194B ,2021-03-05

[10]

一种激光外差干涉位移测量方法 [P].

张志伟 ;

杨清溪 ;

姬超 .

中国专利 :CN119354063A ,2025-01-24

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