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二自由度外差光栅干涉仪

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111086669.3
申请日：
2021-09-16
公开(公告)号：
CN113701645A
公开(公告)日：
2021-11-26
发明(设计)人：
王磊杰 朱煜 叶伟楠 左征荣 张鸣 成荣 郭子文
申请人：
申请人地址：
100084 北京市海淀区清华园
IPC主分类号：
G01B1102
IPC分类号：
G01B902
代理机构：
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人：
董永辉;曹素云
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-12-14 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20210916
2021-11-26 公开 公开
共 50 条
[1]
一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
王磊杰 ;
吴亚风 ;
刘召 ;
杨开明 ;
成荣 ;
徐登峰 ;
穆海华 ;
胡金春 ;
尹文生 ;
胡楚雄 ;
祁利山 .
中国专利 :CN103759656B ,2014-04-30
[2]
一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统及方法 [P]. 
朱煜 ;
张鸣 ;
兰斌 ;
王磊杰 ;
成荣 ;
杨开明 ;
鲁森 ;
丁思琪 ;
徐登峰 ;
胡金春 ;
尹文生 .
中国专利 :CN105823422B ,2018-08-28
[3]
基于光学倍程法的二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P]. 
朱煜 ;
王磊杰 ;
张鸣 ;
吴亚风 ;
刘召 ;
徐登峰 ;
成荣 ;
尹文生 ;
穆海华 ;
杨开明 ;
胡金春 ;
胡楚雄 ;
祁利山 .
中国专利 :CN103759657A ,2014-04-30
[4]
一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
王磊杰 ;
杨开明 ;
刘召 ;
成荣 ;
刘昊 ;
徐登峰 ;
叶伟楠 ;
张利 ;
赵彦坡 ;
田丽 ;
张金 ;
胡金春 ;
穆海华 ;
尹文生 ;
秦慧超 .
中国专利 :CN103307986A ,2013-09-18
[5]
二自由度外差光栅干涉测量系统 [P]. 
朱煜 ;
张鸣 ;
王磊杰 ;
杨富中 ;
成荣 ;
李鑫 ;
叶伟楠 ;
胡金春 .
中国专利 :CN108627100B ,2018-10-09
[6]
一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量方法 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
倪畅 ;
成荣 ;
杨开明 ;
叶伟楠 ;
王磊杰 ;
丁思奇 ;
崔健章 .
中国专利 :CN106289068A ,2017-01-04
[7]
一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P]. 
朱煜 ;
王磊杰 ;
张鸣 ;
刘召 ;
成荣 ;
杨开明 ;
徐登峰 ;
叶伟楠 ;
张利 ;
赵彦坡 ;
秦慧超 ;
田丽 ;
张金 ;
尹文生 ;
穆海华 ;
胡金春 .
中国专利 :CN103322927B ,2016-04-20
[8]
一种外差式六自由度测量光栅干涉仪及六自由度测量方法 [P]. 
李星辉 ;
崔璨 ;
杨孟涵 .
中国专利 :CN119085478A ,2024-12-06
[9]
五自由度外差光栅干涉测量系统 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
杨富中 ;
王磊杰 ;
成荣 ;
李鑫 ;
叶伟楠 ;
胡金春 .
中国专利 :CN108627099B ,2018-10-09
[10]
一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统 [P]. 
刘召 ;
朱煜 ;
张鸣 ;
吴亚风 ;
王磊杰 ;
成荣 ;
穆海华 ;
胡金春 ;
徐登峰 ;
尹文生 ;
胡楚雄 ;
杨开明 ;
祁利山 .
中国专利 :CN103759654B ,2014-04-30
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