一种外差式六自由度测量光栅干涉仪及六自由度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411013187.9

申请日：

2024-07-26

公开(公告)号：

CN119085478A

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

李星辉崔璨杨孟涵

申请人：

清华大学深圳国际研究生院

申请人地址：

518071 广东省深圳市南山区桃源街道丽水路2279号

IPC主分类号：

G01B9/02

IPC分类号：

G01B9/02002 G01B11/02 G01B11/26

代理机构：

深圳新创友知识产权代理有限公司 44223

代理人：

方艳平

法律状态：

公开

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-06	公开	公开
2024-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 9/02申请日:20240726

共 50 条

[1]

二自由度外差光栅干涉仪 [P].

王磊杰 ;

朱煜 ;

叶伟楠 ;

左征荣 ;

张鸣 ;

成荣 ;

郭子文 .

中国专利 :CN113701645A ,2021-11-26

[2]

二自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法和六自由度干涉仪 [P].

胡鹏程 ;

王嘉宁 ;

常笛 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN112444194B ,2021-03-05

[3]

一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

刘召 ;

朱煜 ;

张鸣 ;

吴亚风 ;

王磊杰 ;

成荣 ;

穆海华 ;

胡金春 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

胡楚雄 ;

杨开明 ;

祁利山 .

中国专利 :CN103759654B ,2014-04-30

[4]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

吴亚风 ;

刘召 ;

杨开明 ;

成荣 ;

徐登峰 ;

穆海华 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

胡楚雄 ;

祁利山 .

中国专利 :CN103759656B ,2014-04-30

[5]

一种外差式六自由度光栅运动测量系统 [P].

林杰 ;

李丹阳 ;

关健 ;

金鹏 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN106152974A ,2016-11-23

[6]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统及方法 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

兰斌 ;

王磊杰 ;

成荣 ;

杨开明 ;

鲁森 ;

丁思琪 ;

徐登峰 ;

胡金春 ;

尹文生 .

中国专利 :CN105823422B ,2018-08-28

[7]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量方法 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

倪畅 ;

成荣 ;

杨开明 ;

叶伟楠 ;

王磊杰 ;

丁思奇 ;

崔健章 .

中国专利 :CN106289068A ,2017-01-04

[8]

一种六自由度测量系统及测量方法 [P].

邓兆军 ;

李安虎 .

中国专利 :CN117781873A ,2024-03-29

[9]

正交式六自由度测量装置 [P].

苏建 ;

牛治慧 ;

张益瑞 ;

陈熔 ;

林慧英 ;

陈雷 ;

张雪平 ;

张兰 ;

王启明 ;

朱丽叶 ;

陈秋雨 ;

陈学渊 ;

许影 ;

张亨飏 .

中国专利 :CN105806180B ,2016-07-27

[10]

正交式六自由度测量装置 [P].

苏建 ;

牛治慧 ;

张益瑞 ;

陈熔 ;

林慧英 ;

陈雷 ;

张雪平 ;

张兰 ;

王启明 ;

朱丽叶 ;

陈秋雨 ;

陈学渊 ;

许影 ;

张亨飏 .

中国专利 :CN205691028U ,2016-11-16

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