蒸镀方法及蒸镀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810060024.4

申请日：

2018-01-22

公开(公告)号：

CN108456866A

公开(公告)日：

2018-08-28

发明(设计)人：

肖冯俊树李椿光蔡晓义柯贤军苏君海李建华

申请人：

申请人地址：

516029 广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1424 C23C1412

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

叶剑

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-28	公开	公开
2018-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20180122
2022-02-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/56 申请公布日:20180828

共 50 条

[1]

蒸镀设备 [P].

李嘉宸 .

中国专利 :CN209039572U ,2019-06-28

[2]

遮罩片及蒸镀遮罩及蒸镀遮罩装置及蒸镀工艺 [P].

陈秉宏 ;

洪忠庆 .

中国专利 :CN106676468A ,2017-05-17

[3]

一种蒸镀源和蒸镀设备 [P].

杨国波 ;

奉洛阳 .

中国专利 :CN202144512U ,2012-02-15

[4]

一种蒸镀装置和蒸镀方法 [P].

韩冰 ;

陈闯 ;

陈牡丹 ;

李文星 .

中国专利 :CN115896707B ,2025-07-11

[5]

一种柔性基板蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN104862650A ,2015-08-26

[6]

一种掩模版、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

吴秋杰 .

中国专利 :CN112662993A ,2021-04-16

[7]

蒸镀装置 [P].

松本祐司 ;

野田武史 ;

大工博之 .

中国专利 :CN103305797B ,2013-09-18

[8]

托盘机构及蒸镀设备 [P].

李浩永 ;

曹景博 ;

蔡瑞芝 ;

李灿 ;

吴相 ;

韩冰融 .

中国专利 :CN212983040U ,2021-04-16

[9]

蔡丰豪 .

中国专利 :CN107475675A ,2017-12-15

[10]

一种蒸镀载板及蒸镀装置 [P].

曾庆慧 ;

郭书鹏 .

中国专利 :CN204434500U ,2015-07-01

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