一种柔性基板蒸镀装置及蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510250246.9

申请日：

2015-05-15

公开(公告)号：

CN104862650A

公开(公告)日：

2015-08-26

发明(设计)人：

赵德江

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

柴亮;张天舒

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-26	公开	公开
2015-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101626828365 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2015102502469 申请日:20150515
2017-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板 [P].

沈武林 ;

苏彦新 ;

王卓 ;

樊浩原 ;

李兴华 .

中国专利 :CN106148893B ,2016-11-23

[2]

蒸镀方法及蒸镀设备 [P].

肖冯俊树 ;

李椿光 ;

蔡晓义 ;

柯贤军 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN108456866A ,2018-08-28

[3]

遮罩片及蒸镀遮罩及蒸镀遮罩装置及蒸镀工艺 [P].

陈秉宏 ;

洪忠庆 .

中国专利 :CN106676468A ,2017-05-17

[4]

一种蒸镀装置和蒸镀方法 [P].

韩冰 ;

陈闯 ;

陈牡丹 ;

李文星 .

中国专利 :CN115896707B ,2025-07-11

[5]

一种蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

毛波 ;

江昌俊 ;

李俊 ;

哈朗朗 ;

窦义坤 ;

徐阳 ;

栾梦雨 .

中国专利 :CN109423610B ,2019-03-05

[6]

一种蒸镀源、蒸镀装置及其蒸镀方法 [P].

贾文斌 ;

孙力 ;

王欣欣 ;

彭锐 ;

万想 ;

任军 .

中国专利 :CN106756807B ,2017-05-31

[7]

一种掩模版、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

吴秋杰 .

中国专利 :CN112662993A ,2021-04-16

[8]

一种蒸镀载板及蒸镀装置 [P].

曾庆慧 ;

郭书鹏 .

中国专利 :CN204434500U ,2015-07-01

[9]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

李发顺 .

中国专利 :CN108754428A ,2018-11-06

[10]

玻璃基板蒸镀装置 [P].

徐锐龙 .

中国专利 :CN114086125B ,2024-03-01

← 1 2 3 4 5 →