一种蒸镀装置及蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710741658.1

申请日：

2017-08-24

公开(公告)号：

CN109423610B

公开(公告)日：

2019-03-05

发明(设计)人：

毛波江昌俊李俊哈朗朗窦义坤徐阳栾梦雨

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;赵艳丽

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-05	公开	公开
2020-12-04	授权	授权
2019-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20170824

共 50 条

[1]

一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 .

中国专利 :CN106978588B ,2017-07-25

[2]

一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

罗程远 .

中国专利 :CN106947944A ,2017-07-14

[3]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

贾文斌 ;

孙力 ;

万想 ;

王欣欣 ;

上官荣刚 ;

彭锐 .

中国专利 :CN107012431B ,2017-08-04

[4]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

孙力 .

中国专利 :CN106987807B ,2017-07-28

[5]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

上官荣刚 ;

王欣欣 .

中国专利 :CN106835028B ,2017-06-13

[6]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

崔建勇 .

中国专利 :CN114752896A ,2022-07-15

[7]

蒸镀源及蒸镀方法 [P].

刘金彪 ;

李元星 ;

刘文豪 ;

肖昂 ;

罗楠 ;

晋亚杰 ;

胡斌 ;

李靖 ;

加新星 ;

姬磊 ;

沈萌 ;

孙尚书 ;

高俊 ;

周杰 ;

刘飞 ;

李端瑞 ;

兰代江 ;

党博谭 ;

王天昊 ;

祁泽宙 ;

尹茂吉 .

中国专利 :CN114277339A ,2022-04-05

[8]

蒸镀源及蒸镀方法 [P].

刘金彪 ;

李元星 ;

刘文豪 ;

肖昂 ;

罗楠 ;

晋亚杰 ;

胡斌 ;

李靖 ;

加新星 ;

姬磊 ;

沈萌 ;

孙尚书 ;

高俊 ;

周杰 ;

刘飞 ;

李端瑞 ;

兰代江 ;

党博谭 ;

王天昊 ;

祁泽宙 ;

尹茂吉 .

中国专利 :CN114277339B ,2024-07-16

[9]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

崔建勇 .

中国专利 :CN214881795U ,2021-11-26

[10]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

王鑫 ;

王洋 ;

张灿 ;

张荡 ;

崔晓晨 ;

蔡鹏 ;

李官正 .

中国专利 :CN109295422A ,2019-02-01

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