一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710370616.1

申请日：

2017-05-23

公开(公告)号：

CN106947944A

公开(公告)日：

2017-07-14

发明(设计)人：

罗程远

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-14	公开	公开
2020-07-17	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20170714
2017-08-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101739974320 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2017103706161 申请日:20170523

共 50 条

[1]

一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 .

中国专利 :CN106978588B ,2017-07-25

[2]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

贾文斌 ;

孙力 ;

万想 ;

王欣欣 ;

上官荣刚 ;

彭锐 .

中国专利 :CN107012431B ,2017-08-04

[3]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

孙力 .

中国专利 :CN106987807B ,2017-07-28

[4]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

上官荣刚 ;

王欣欣 .

中国专利 :CN106835028B ,2017-06-13

[5]

一种蒸镀坩埚、蒸镀源以及蒸镀方法 [P].

孙力 .

中国专利 :CN108866485B ,2018-11-23

[6]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

王宇钊 ;

李彦松 ;

文官印 ;

刘华猛 .

中国专利 :CN118773551A ,2024-10-15

[7]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

李发顺 .

中国专利 :CN108754428A ,2018-11-06

[8]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

黄永振 .

中国专利 :CN111549318A ,2020-08-18

[9]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

钱海涛 ;

毕岩 ;

刘萍 .

中国专利 :CN114574809A ,2022-06-03

[10]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

崔建勇 .

中国专利 :CN214881794U ,2021-11-26

← 1 2 3 4 5 →