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一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710212406.X
申请日：
2017-03-31
公开(公告)号：
CN106978588B
公开(公告)日：
2017-07-25
发明(设计)人：
李晓虎
王路
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
申健
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-07-25 | 公开 | 公开 |
| 2019-09-20 | 授权 | 授权 |
| 2017-08-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101742561129 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:201710212406X 申请日:20170331 |