蒸镀源组件、蒸镀装置及蒸镀方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411259446.6
申请日
2024-09-09
公开(公告)号
CN118932296A
公开(公告)日
2024-11-12
发明(设计)人
高薇 董圣之 邹德月 陈晓敏
申请人
江苏汇显显示技术有限公司
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山开发区夏东街658号17层1701室
IPC主分类号
C23C14/24
IPC分类号
代理机构
北京布瑞知识产权代理有限公司 11505
代理人
宗广静
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
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共 50 条
[1]
蒸镀源及蒸镀装置 [P]. 
马昆松 ;
梁作 ;
任虎鸣 .
中国专利 :CN221566290U ,2024-08-20
[2]
蒸镀源、蒸镀装置 [P]. 
刘晓云 .
中国专利 :CN109023260A ,2018-12-18
[3]
蒸镀源及蒸镀装置 [P]. 
沈文涛 ;
高超飞 ;
葛晶涛 ;
刘旭亮 ;
张明照 .
中国专利 :CN209722279U ,2019-12-03
[4]
蒸镀源及蒸镀装置 [P]. 
邓博为 .
中国专利 :CN220468111U ,2024-02-09
[5]
蒸镀源及蒸镀方法 [P]. 
刘金彪 ;
李元星 ;
刘文豪 ;
肖昂 ;
罗楠 ;
晋亚杰 ;
胡斌 ;
李靖 ;
加新星 ;
姬磊 ;
沈萌 ;
孙尚书 ;
高俊 ;
周杰 ;
刘飞 ;
李端瑞 ;
兰代江 ;
党博谭 ;
王天昊 ;
祁泽宙 ;
尹茂吉 .
中国专利 :CN114277339A ,2022-04-05
[6]
蒸镀源及蒸镀方法 [P]. 
刘金彪 ;
李元星 ;
刘文豪 ;
肖昂 ;
罗楠 ;
晋亚杰 ;
胡斌 ;
李靖 ;
加新星 ;
姬磊 ;
沈萌 ;
孙尚书 ;
高俊 ;
周杰 ;
刘飞 ;
李端瑞 ;
兰代江 ;
党博谭 ;
王天昊 ;
祁泽宙 ;
尹茂吉 .
中国专利 :CN114277339B ,2024-07-16
[7]
蒸镀源及蒸镀装置 [P]. 
王宇钊 ;
李彦松 ;
文官印 ;
刘华猛 .
中国专利 :CN118773551A ,2024-10-15
[8]
一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P]. 
李晓虎 ;
王路 .
中国专利 :CN106978588B ,2017-07-25
[9]
一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P]. 
罗程远 .
中国专利 :CN106947944A ,2017-07-14
[10]
一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P]. 
贾文斌 ;
孙力 ;
万想 ;
王欣欣 ;
上官荣刚 ;
彭锐 .
中国专利 :CN107012431B ,2017-08-04