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蒸镀装置及蒸镀方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811326464.6
申请日：
2018-11-08
公开(公告)号：
CN109295422A
公开(公告)日：
2019-02-01
发明(设计)人：
王鑫
王洋
张灿
张荡
崔晓晨
蔡鹏
李官正
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
代理机构：
北京博思佳知识产权代理有限公司 11415
代理人：
林祥
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-22 | 授权 | 授权 |
| 2019-02-01 | 公开 | 公开 |
| 2019-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20181108 |