蒸镀装置及蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510551836.9

申请日：

2025-04-28

公开(公告)号：

CN120330663A

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

翁靖博

申请人：

合肥维信诺科技有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市新站区新蚌埠路5555号

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/04 C23C14/54 H10K71/16

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

尹红敏

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省合肥市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-18	公开	公开
2025-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/24申请日:20250428

共 50 条

[1]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

王鑫 ;

王洋 ;

张灿 ;

张荡 ;

崔晓晨 ;

蔡鹏 ;

李官正 .

中国专利 :CN109295422A ,2019-02-01

[2]

蒸镀方法及蒸镀装置 [P].

张萌 .

中国专利 :CN113025964A ,2021-06-25

[3]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

萧智鸿 .

中国专利 :CN105960072A ,2016-09-21

[4]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

阮丽霞 ;

张瑞军 .

中国专利 :CN110257775A ,2019-09-20

[5]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN108130513B ,2018-06-08

[6]

蒸镀方法及蒸镀装置 [P].

松浦宏育 ;

峰川英明 ;

宗藤正利 ;

加藤昇 ;

三宅竜也 ;

山本健一 .

中国专利 :CN102732838A ,2012-10-17

[7]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN108728801B ,2018-11-02

[8]

蒸镀源组件、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

高薇 ;

董圣之 ;

邹德月 ;

陈晓敏 .

中国专利 :CN118932296A ,2024-11-12

[9]

坩埚、蒸镀准备装置、蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

申永奇 .

中国专利 :CN108456855A ,2018-08-28

[10]

坩埚、蒸镀准备装置、蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

申永奇 .

中国专利 :CN108456855B ,2024-09-03

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