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蒸镀装置及蒸镀方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810524337.0
申请日：
2018-05-28
公开(公告)号：
CN108728801B
公开(公告)日：
2018-11-02
发明(设计)人：
匡友元
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
IPC主分类号：
C23C1426
IPC分类号：
C23C1454
H01L5156
代理机构：
深圳市德力知识产权代理事务所 44265
代理人：
林才桂;鞠骁
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-11-02 | 公开 | 公开 |
| 2019-11-12 | 授权 | 授权 |
| 2022-12-27 | 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 | 专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C23C 14/26 登记号:Y2022980026522 登记生效日:20221209 出质人:TCL华星光电技术有限公司 质权人:中国工商银行股份有限公司深圳光明支行 发明名称:蒸镀装置及蒸镀方法 申请日:20180528 授权公告日:20191112 |
| 2020-12-25 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/26 变更事项:专利权人 变更前:深圳市华星光电技术有限公司 变更后:TCL华星光电技术有限公司 变更事项:地址 变更前:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 变更后:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |
| 2018-11-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/26 申请日:20180528 |