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蒸镀方法及蒸镀装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210034395.8
申请日：
2012-02-15
公开(公告)号：
CN102732838A
公开(公告)日：
2012-10-17
发明(设计)人：
松浦宏育
峰川英明
宗藤正利
加藤昇
三宅竜也
山本健一
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
余刚;吴孟秋
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-01-14 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101709903008 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2012100343958 申请公布日:20121017 |
| 2012-10-17 | 公开 | 公开 |
| 2012-12-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101363520893 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2012100343958 申请日:20120215 |