玻璃基板蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111389658.2

申请日：

2021-11-19

公开(公告)号：

CN114086125B

公开(公告)日：

2024-03-01

发明(设计)人：

徐锐龙

申请人：

乐金显示光电科技（中国）有限公司

申请人地址：

510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C03C17/09 C23C14/18

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

王亚琼

法律状态：

授权

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-01	授权	授权

共 50 条

[1]

玻璃基板蒸镀装置 [P].

徐锐龙 .

中国专利 :CN114086125A ,2022-02-25

[2]

玻璃基板蒸镀装置 [P].

舒渝 .

中国专利 :CN223292618U ,2025-09-02

[3]

OLED玻璃基板蒸镀机 [P].

南一虎 ;

金铉东 ;

赵芳 .

中国专利 :CN103014620A ,2013-04-03

[4]

OLED玻璃基板蒸镀机 [P].

南一虎 ;

金铉东 ;

赵芳 .

中国专利 :CN203021641U ,2013-06-26

[5]

蒸镀掩模、带玻璃基板的蒸镀掩模及带玻璃基板的掩模片材 [P].

佐藤俊介 ;

寺田玲尔 ;

三上菜穗子 .

中国专利 :CN112981319B ,2021-06-18

[6]

高效臭氧清洗装置及玻璃基板蒸镀设备 [P].

梁作 ;

吴春钦 ;

马昆松 ;

任虎鸣 .

中国专利 :CN221515548U ,2024-08-13

[7]

一种柔性基板蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN104862650A ,2015-08-26

[8]

蒸镀用基板及蒸镀设备 [P].

白珊珊 ;

韩乔楠 .

中国专利 :CN208136315U ,2018-11-23

[9]

TFT基板的蒸镀方法 [P].

邓亮 ;

习王锋 ;

刘晓佳 ;

翁家峰 .

中国专利 :CN106910844A ,2017-06-30

[10]

一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板 [P].

沈武林 ;

苏彦新 ;

王卓 ;

樊浩原 ;

李兴华 .

中国专利 :CN106148893B ,2016-11-23

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