一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610657891.7

申请日：

2016-08-11

公开(公告)号：

CN106148893B

公开(公告)日：

2016-11-23

发明(设计)人：

沈武林苏彦新王卓樊浩原李兴华

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1432 C23C1412

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101692517351 IPC(主分类):C23C 14/04 专利申请号:2016106578917 申请日:20160811
2016-11-23	公开	公开
2019-04-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 .

中国专利 :CN106978588B ,2017-07-25

[2]

一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

罗程远 .

中国专利 :CN106947944A ,2017-07-14

[3]

一种OLED基板蒸镀方法及蒸镀装置 [P].

林进志 ;

李柏德 ;

黄俊允 ;

严达祥 .

中国专利 :CN106282929A ,2017-01-04

[4]

一种柔性基板蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN104862650A ,2015-08-26

[5]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

贾文斌 ;

孙力 ;

万想 ;

王欣欣 ;

上官荣刚 ;

彭锐 .

中国专利 :CN107012431B ,2017-08-04

[6]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

孙力 .

中国专利 :CN106987807B ,2017-07-28

[7]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

上官荣刚 ;

王欣欣 .

中国专利 :CN106835028B ,2017-06-13

[8]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

李发顺 .

中国专利 :CN108754428A ,2018-11-06

[9]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

王鑫 ;

王洋 ;

张灿 ;

张荡 ;

崔晓晨 ;

蔡鹏 ;

李官正 .

中国专利 :CN109295422A ,2019-02-01

[10]

蒸镀方法及蒸镀装置 [P].

张萌 .

中国专利 :CN113025964A ,2021-06-25

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