一种OLED基板蒸镀方法及蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510274429.4

申请日：

2015-05-26

公开(公告)号：

CN106282929A

公开(公告)日：

2017-01-04

发明(设计)人：

林进志李柏德黄俊允严达祥

申请人：

申请人地址：

201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

上海唯源专利代理有限公司 31229

代理人：

曾耀先

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20170104
2017-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101700808866 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2015102744294 申请日:20150526
2017-01-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板 [P].

沈武林 ;

苏彦新 ;

王卓 ;

樊浩原 ;

李兴华 .

中国专利 :CN106148893B ,2016-11-23

[2]

一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109536886A ,2019-03-29

[3]

一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN109536886B ,2024-05-14

[4]

用于OLED蒸镀的金属遮罩及OLED蒸镀方法 [P].

李文辉 .

中国专利 :CN107636191A ,2018-01-26

[5]

一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 .

中国专利 :CN106978588B ,2017-07-25

[6]

一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

罗程远 .

中国专利 :CN106947944A ,2017-07-14

[7]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

贾文斌 ;

孙力 ;

万想 ;

王欣欣 ;

上官荣刚 ;

彭锐 .

中国专利 :CN107012431B ,2017-08-04

[8]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

孙力 .

中国专利 :CN106987807B ,2017-07-28

[9]

一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

上官荣刚 ;

王欣欣 .

中国专利 :CN106835028B ,2017-06-13

[10]

蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

丁立薇 ;

党鹏乐 ;

朱晖 ;

张小宝 .

中国专利 :CN105154820B ,2015-12-16

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