一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811545201.4

申请日：

2018-12-17

公开(公告)号：

CN109536886A

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

351100 福建省莆田市涵江区涵中西路1号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424 C23C1450

代理机构：

福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219

代理人：

林祥翔;张忠波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20181217
2019-03-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN109536886B ,2024-05-14

[2]

一种蒸镀装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN210529032U ,2020-05-15

[3]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 ;

王伟杰 ;

焦志强 ;

袁广才 .

中国专利 :CN115216737B ,2024-03-26

[4]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN108130513B ,2018-06-08

[5]

蒸镀方法及蒸镀装置 [P].

松浦宏育 ;

峰川英明 ;

宗藤正利 ;

加藤昇 ;

三宅竜也 ;

山本健一 .

中国专利 :CN102732838A ,2012-10-17

[6]

一种OLED基板蒸镀方法及蒸镀装置 [P].

林进志 ;

李柏德 ;

黄俊允 ;

严达祥 .

中国专利 :CN106282929A ,2017-01-04

[7]

蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法 [P].

刘明星 ;

李俊峰 ;

王徐亮 ;

高峰 .

中国专利 :CN109585695A ,2019-04-05

[8]

一种蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

毛波 ;

江昌俊 ;

李俊 ;

哈朗朗 ;

窦义坤 ;

徐阳 ;

栾梦雨 .

中国专利 :CN109423610B ,2019-03-05

[9]

一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 .

中国专利 :CN106978588B ,2017-07-25

[10]

一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

罗程远 .

中国专利 :CN106947944A ,2017-07-14

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