一种蒸镀源、蒸镀装置及其蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710058896.2

申请日：

2017-01-23

公开(公告)号：

CN106756807B

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

贾文斌孙力王欣欣彭锐万想任军

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1412 C23C1454

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-31	公开	公开
2019-07-05	授权	授权
2017-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729174638 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2017100588962 申请日:20170123

共 50 条

[1]

蒸镀源、蒸镀装置 [P].

刘晓云 .

中国专利 :CN109023260A ,2018-12-18

[2]

蒸镀源、蒸镀装置 [P].

孙力 .

中国专利 :CN108677148B ,2018-10-19

[3]

面蒸镀源及其制作方法、蒸镀方法、蒸镀装置 [P].

王路 .

中国专利 :CN110055498B ,2019-07-26

[4]

蒸镀坩埚及其蒸镀方法 [P].

唐凡 ;

陈永胜 .

中国专利 :CN106756804A ,2017-05-31

[5]

何瑞亭 ;

李晓康 .

中国专利 :CN206298636U ,2017-07-04

[6]

蒸镀装置和蒸镀方法 [P].

陈爱国 ;

廖先江 ;

崔家宾 ;

张金中 ;

刘佳宁 .

中国专利 :CN119571261A ,2025-03-07

[7]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN108728801B ,2018-11-02

[8]

蒸镀坩埚和蒸镀装置 [P].

扈自清 ;

范超龙 ;

王国庆 ;

高步荣 .

中国专利 :CN107904557A ,2018-04-13

[9]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

李发顺 .

中国专利 :CN108754428A ,2018-11-06

[10]

蒸镀方法及蒸镀系统 [P].

万冀豫 ;

张大成 .

中国专利 :CN108265266B ,2018-07-10

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