蒸镀方法及蒸镀系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810187315.X

申请日：

2018-03-07

公开(公告)号：

CN108265266B

公开(公告)日：

2018-07-10

发明(设计)人：

万冀豫张大成

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1412

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

滕一斌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20180307
2019-09-13	授权	授权
2018-07-10	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸镀系统及蒸镀方法 [P].

马昆松 .

中国专利 :CN111663104A ,2020-09-15

[2]

蒸镀组件及蒸镀系统 [P].

王浩田 ;

陶敏 ;

杨小翠 .

中国专利 :CN208965014U ,2019-06-11

[3]

蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

黄俊淞 ;

申永奇 ;

叶岚凯 .

中国专利 :CN105177510B ,2015-12-23

[4]

蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

张金中 .

中国专利 :CN104313538B ,2015-01-28

[5]

坩埚、真空蒸镀系统及蒸镀方法 [P].

林君鸿 .

中国专利 :CN102864420A ,2013-01-09

[6]

真空蒸镀系统及真空蒸镀方法 [P].

若林雅 ;

加藤升 ;

石泽泰明 .

中国专利 :CN103255375A ,2013-08-21

[7]

一种真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

姚固 ;

曾苏伟 ;

徐鹏 .

中国专利 :CN104911548A ,2015-09-16

[8]

蒸镀结构、蒸镀系统及蒸镀结构的使用方法 [P].

饶勇 ;

李有亮 ;

刘金彪 ;

谭瑞 ;

岳小非 ;

罗楠 ;

胡斌 ;

仪修超 ;

沈萌 ;

加新星 ;

肖鹏 ;

李靖 ;

晋亚杰 .

中国专利 :CN109518136A ,2019-03-26

[9]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103726020B ,2014-04-16

[10]

蒸镀方法及蒸镀用容器 [P].

望月佳彦 ;

岩田充 ;

米久田康智 .

日本专利 :CN117778962A ,2024-03-29

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