真空蒸镀系统及真空蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310046198.2

申请日：

2013-02-05

公开(公告)号：

CN103255375A

公开(公告)日：

2013-08-21

发明(设计)人：

若林雅加藤升石泽泰明

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

张敬强;严星铁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-21	公开	公开
2013-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101520123970 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013100461982 申请日:20130205
2015-10-28	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101722810819 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013100461982 申请公布日:20130821

共 50 条

[1]

真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐藤昌敏 .

日本专利 :CN120898021A ,2025-11-04

[2]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103726020B ,2014-04-16

[3]

真空蒸镀设备及真空蒸镀方法 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN104451554A ,2015-03-25

[4]

真空蒸镀源及使用该真空蒸镀源的真空蒸镀方法 [P].

岡田浩和 ;

范宾 .

中国专利 :CN103643206A ,2014-03-19

[5]

一种真空蒸镀系统及真空蒸镀方法 [P].

梁丰 ;

牛晶华 ;

戴铭志 ;

李巍 .

中国专利 :CN111549319A ,2020-08-18

[6]

坩埚、真空蒸镀系统及蒸镀方法 [P].

林君鸿 .

中国专利 :CN102864420A ,2013-01-09

[7]

真空蒸镀用镀材舟及真空蒸镀系统 [P].

施莹哲 .

中国专利 :CN102409296A ,2012-04-11

[8]

真空蒸镀坩埚及真空蒸镀设备 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN108823534B ,2018-11-16

[9]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103741097A ,2014-04-23

[10]

真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐佐木俊介 ;

氏原祐辅 .

日本专利 :CN118621269A ,2024-09-10

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