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真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380096945.5
申请日：
2023-12-28
公开(公告)号：
CN120898021A
公开(公告)日：
2025-11-04
发明(设计)人：
木本孝仁 安田仁 仓内利春 佐藤昌敏
申请人：
株式会社爱发科
申请人地址：
日本神奈川县茅崎市荻园2500
IPC主分类号：
C23C14/24
IPC分类号：
代理机构：
北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015
代理人：
齐永红;秦岩
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-04 公开 公开
共 50 条
[1]
真空蒸镀装置用蒸镀源 [P]. 
斋藤修司 .
中国专利 :CN112912534B ,2021-06-04
[2]
真空蒸镀装置用蒸镀源 [P]. 
斋藤修司 .
中国专利 :CN114836720A ,2022-08-02
[3]
真空蒸镀装置用蒸镀源 [P]. 
中村寿充 ;
清健介 .
中国专利 :CN111108230A ,2020-05-05
[4]
真空蒸镀装置用的蒸镀源 [P]. 
北泽僚也 ;
斋藤一也 .
中国专利 :CN114381693A ,2022-04-22
[5]
真空蒸镀源及使用该真空蒸镀源的真空蒸镀方法 [P]. 
岡田浩和 ;
范宾 .
中国专利 :CN103643206A ,2014-03-19
[6]
真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P]. 
匡友元 .
中国专利 :CN103726020B ,2014-04-16
[7]
真空蒸镀系统及真空蒸镀方法 [P]. 
若林雅 ;
加藤升 ;
石泽泰明 .
中国专利 :CN103255375A ,2013-08-21
[8]
真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P]. 
匡友元 .
中国专利 :CN103741097A ,2014-04-23
[9]
真空蒸镀用加热坩埚及真空蒸镀装置 [P]. 
史延锋 .
中国专利 :CN112680698A ,2021-04-20
[10]
真空蒸镀机台的蒸镀源装置及其蒸镀方法 [P]. 
李兴铨 .
中国专利 :CN1995445A ,2007-07-11
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