真空蒸镀装置及蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310743673.1

申请日：

2013-12-30

公开(公告)号：

CN103741097A

公开(公告)日：

2014-04-23

发明(设计)人：

匡友元

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404

代理机构：

深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304

代理人：

杨林;李友佳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582391107 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013107436731 申请日:20131230
2016-02-03	授权	授权
2019-12-31	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/24 变更事项:专利权人变更前:深圳市华星光电技术有限公司变更后:TCL华星光电技术有限公司变更事项:地址变更前:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号变更后:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
2014-04-23	公开	公开

共 50 条

[1]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103726020B ,2014-04-16

[2]

真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐藤昌敏 .

日本专利 :CN120898021A ,2025-11-04

[3]

真空蒸镀设备及真空蒸镀方法 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN104451554A ,2015-03-25

[4]

真空蒸镀系统及真空蒸镀方法 [P].

若林雅 ;

加藤升 ;

石泽泰明 .

中国专利 :CN103255375A ,2013-08-21

[5]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

大工博之 .

中国专利 :CN103966554B ,2014-08-06

[6]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

黄荣龙 ;

彭家鹏 ;

赖建廷 ;

杨秋莲 .

中国专利 :CN1970826A ,2007-05-30

[7]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

李文星 ;

李俊峰 ;

甘帅燕 ;

范波涛 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN109609912A ,2019-04-12

[8]

真空蒸镀装置及蒸镀薄膜制造方法 [P].

佐佐木昇 ;

铃木浩 ;

小泉文刚 ;

今井伸彦 ;

新井邦正 ;

小长井裕之 .

中国专利 :CN100582295C ,2006-02-08

[9]

真空蒸镀坩埚及真空蒸镀设备 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN108823534B ,2018-11-16

[10]

坩埚、真空蒸镀系统及蒸镀方法 [P].

林君鸿 .

中国专利 :CN102864420A ,2013-01-09

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