真空蒸镀装置和真空蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910055300.2

申请日：

2019-01-21

公开(公告)号：

CN109609912A

公开(公告)日：

2019-04-12

发明(设计)人：

李文星李俊峰甘帅燕范波涛彭兆基

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

张海英

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20190412
2019-04-12	公开	公开
2019-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20190121

共 50 条

[1]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

大工博之 .

中国专利 :CN103966554B ,2014-08-06

[2]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

黄荣龙 ;

彭家鹏 ;

赖建廷 ;

杨秋莲 .

中国专利 :CN1970826A ,2007-05-30

[3]

真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐藤昌敏 .

日本专利 :CN120898021A ,2025-11-04

[4]

真空蒸镀装置 [P].

姜亮 .

中国专利 :CN106637073A ,2017-05-10

[5]

真空蒸镀设备及真空蒸镀方法 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN104451554A ,2015-03-25

[6]

真空蒸镀系统及真空蒸镀方法 [P].

若林雅 ;

加藤升 ;

石泽泰明 .

中国专利 :CN103255375A ,2013-08-21

[7]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103726020B ,2014-04-16

[8]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103741097A ,2014-04-23

[9]

蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法 [P].

李云飞 ;

王煦 ;

张悦 ;

吴义超 ;

岳小非 ;

戴雷 ;

蔡丽菲 .

中国专利 :CN116005112B ,2025-08-05

[10]

蒸镀系统和真空蒸镀设备 [P].

刘志康 ;

伽龙 ;

吴明忠 ;

吴林海 .

中国专利 :CN117987780A ,2024-05-07

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