真空蒸镀设备及真空蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510004716.3

申请日：

2015-01-06

公开(公告)号：

CN104451554A

公开(公告)日：

2015-03-25

发明(设计)人：

张永峰

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;黄灿

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-25	公开	公开
2019-07-02	授权	授权
2015-04-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101607368437 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2015100047163 申请日:20150106

共 50 条

[1]

真空蒸镀坩埚及真空蒸镀设备 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN108823534B ,2018-11-16

[2]

真空蒸镀系统及真空蒸镀方法 [P].

若林雅 ;

加藤升 ;

石泽泰明 .

中国专利 :CN103255375A ,2013-08-21

[3]

真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐藤昌敏 .

日本专利 :CN120898021A ,2025-11-04

[4]

真空蒸镀腔室及真空蒸镀设备 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN108642453A ,2018-10-12

[5]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103726020B ,2014-04-16

[6]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103741097A ,2014-04-23

[7]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

大工博之 .

中国专利 :CN103966554B ,2014-08-06

[8]

真空蒸镀源及使用该真空蒸镀源的真空蒸镀方法 [P].

岡田浩和 ;

范宾 .

中国专利 :CN103643206A ,2014-03-19

[9]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

黄荣龙 ;

彭家鹏 ;

赖建廷 ;

杨秋莲 .

中国专利 :CN1970826A ,2007-05-30

[10]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

李文星 ;

李俊峰 ;

甘帅燕 ;

范波涛 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN109609912A ,2019-04-12

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