真空蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610900262.2

申请日：

2016-10-14

公开(公告)号：

CN106637073A

公开(公告)日：

2017-05-10

发明(设计)人：

姜亮

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

深圳市德力知识产权代理事务所 44265

代理人：

林才桂

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-17	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/04 申请公布日:20170510
2017-06-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101724586968 IPC(主分类):C23C 14/04 专利申请号:2016109002622 申请日:20161014
2017-05-10	公开	公开
2020-12-22	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/04 变更事项:申请人变更前:深圳市华星光电技术有限公司变更后:TCL华星光电技术有限公司变更事项:地址变更前:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号变更后:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号

共 50 条

[1]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

李文星 ;

李俊峰 ;

甘帅燕 ;

范波涛 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN109609912A ,2019-04-12

[2]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

大工博之 .

中国专利 :CN103966554B ,2014-08-06

[3]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

黄荣龙 ;

彭家鹏 ;

赖建廷 ;

杨秋莲 .

中国专利 :CN1970826A ,2007-05-30

[4]

真空蒸镀腔室及真空蒸镀设备 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN108642453A ,2018-10-12

[5]

真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐藤昌敏 .

日本专利 :CN120898021A ,2025-11-04

[6]

真空蒸镀装置 [P].

金信真理子 ;

藤本英志 ;

大工博之 ;

松本祐司 ;

千住直辉 .

中国专利 :CN105316625B ,2016-02-10

[7]

真空蒸镀装置 [P].

金炫中 ;

金洪彻 ;

金正来 ;

金瞮训 .

中国专利 :CN304139407S ,2017-05-17

[8]

真空蒸镀装置 [P].

松本祐司 ;

藤本英志 ;

藤本惠美子 ;

大工博之 .

中国专利 :CN203768445U ,2014-08-13

[9]

真空蒸镀装置 [P].

斋藤修司 ;

横山礼宽 .

中国专利 :CN112368413B ,2021-02-12

[10]

真空蒸镀装置 [P].

金炫中 ;

金洪彻 ;

金正来 ;

金瞮训 .

中国专利 :CN304180374S ,2017-06-16

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