真空蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980038547.1

申请日：

2019-10-28

公开(公告)号：

CN112368413B

公开(公告)日：

2021-02-12

发明(设计)人：

斋藤修司横山礼宽

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1654

代理机构：

北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015

代理人：

齐永红;秦岩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-12	公开	公开
2021-04-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20191028
2022-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

大工博之 .

中国专利 :CN103966554B ,2014-08-06

[2]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

黄荣龙 ;

彭家鹏 ;

赖建廷 ;

杨秋莲 .

中国专利 :CN1970826A ,2007-05-30

[3]

真空蒸镀装置和真空蒸镀方法 [P].

李文星 ;

李俊峰 ;

甘帅燕 ;

范波涛 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN109609912A ,2019-04-12

[4]

真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐藤昌敏 .

日本专利 :CN120898021A ,2025-11-04

[5]

真空蒸镀装置 [P].

金信真理子 ;

藤本英志 ;

大工博之 ;

松本祐司 ;

千住直辉 .

中国专利 :CN105316625B ,2016-02-10

[6]

真空蒸镀装置 [P].

金炫中 ;

金洪彻 ;

金正来 ;

金瞮训 .

中国专利 :CN304139407S ,2017-05-17

[7]

真空蒸镀装置 [P].

松本祐司 ;

藤本英志 ;

藤本惠美子 ;

大工博之 .

中国专利 :CN203768445U ,2014-08-13

[8]

真空蒸镀装置 [P].

金炫中 ;

金洪彻 ;

金正来 ;

金瞮训 .

中国专利 :CN304180374S ,2017-06-16

[9]

真空蒸镀装置 [P].

北村一树 ;

宫川展幸 .

中国专利 :CN104066865A ,2014-09-24

[10]

真空蒸镀装置 [P].

金炫中 ;

金洪彻 ;

金正来 ;

金瞮训 .

中国专利 :CN304180375S ,2017-06-16

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