真空蒸镀用镀材舟及真空蒸镀系统

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专利类型
发明
申请号
CN201010292961.6
申请日
2010-09-20
公开(公告)号
CN102409296A
公开(公告)日
2012-04-11
发明(设计)人
施莹哲
申请人
申请人地址
中国台湾新竹市
IPC主分类号
C23C1424
IPC分类号
代理机构
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人
许静
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
真空蒸镀系统及真空蒸镀方法 [P]. 
若林雅 ;
加藤升 ;
石泽泰明 .
中国专利 :CN103255375A ,2013-08-21
[2]
真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法 [P]. 
木本孝仁 ;
安田仁 ;
仓内利春 ;
佐藤昌敏 .
日本专利 :CN120898021A ,2025-11-04
[3]
真空蒸镀坩埚及真空蒸镀设备 [P]. 
张永峰 .
中国专利 :CN108823534B ,2018-11-16
[4]
真空蒸镀设备及真空蒸镀方法 [P]. 
张永峰 .
中国专利 :CN104451554A ,2015-03-25
[5]
坩埚、真空蒸镀系统及蒸镀方法 [P]. 
林君鸿 .
中国专利 :CN102864420A ,2013-01-09
[6]
真空蒸镀装置用蒸镀源 [P]. 
中村寿充 ;
清健介 .
中国专利 :CN111108230A ,2020-05-05
[7]
真空蒸镀装置用蒸镀源 [P]. 
斋藤修司 .
中国专利 :CN112912534B ,2021-06-04
[8]
真空蒸镀装置用蒸镀源 [P]. 
斋藤修司 .
中国专利 :CN114836720A ,2022-08-02
[9]
真空蒸镀工艺用载体及真空蒸镀装置 [P]. 
卓佳庆 ;
方慧 .
中国专利 :CN216005994U ,2022-03-11
[10]
真空蒸镀用加热坩埚及真空蒸镀装置 [P]. 
史延锋 .
中国专利 :CN112680698A ,2021-04-20