一种真空蒸镀系统及真空蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010429257.4

申请日：

2020-05-20

公开(公告)号：

CN111549319A

公开(公告)日：

2020-08-18

发明(设计)人：

梁丰牛晶华戴铭志李巍

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区龙东大道6111号1幢509室

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454 C23C1404

代理机构：

北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603

代理人：

于淼

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-29	授权	授权
2020-09-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20200520
2021-11-05	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/24 登记生效日:20211022 变更事项:申请人变更前权利人:上海天马有机发光显示技术有限公司变更后权利人:武汉天马微电子有限公司变更事项:地址变更前权利人:201201 上海市浦东新区龙东大道6111号1幢509室变更后权利人:430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路8号变更事项:申请人变更后权利人:武汉天马微电子有限公司上海分公司
2020-08-18	公开	公开

共 50 条

[1]

真空蒸镀系统及真空蒸镀方法 [P].

若林雅 ;

加藤升 ;

石泽泰明 .

中国专利 :CN103255375A ,2013-08-21

[2]

真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐藤昌敏 .

日本专利 :CN120898021A ,2025-11-04

[3]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103726020B ,2014-04-16

[4]

真空蒸镀设备及真空蒸镀方法 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN104451554A ,2015-03-25

[5]

真空蒸镀源及使用该真空蒸镀源的真空蒸镀方法 [P].

岡田浩和 ;

范宾 .

中国专利 :CN103643206A ,2014-03-19

[6]

坩埚、真空蒸镀系统及蒸镀方法 [P].

林君鸿 .

中国专利 :CN102864420A ,2013-01-09

[7]

真空蒸镀用镀材舟及真空蒸镀系统 [P].

施莹哲 .

中国专利 :CN102409296A ,2012-04-11

[8]

真空蒸镀坩埚及真空蒸镀设备 [P].

张永峰 .

中国专利 :CN108823534B ,2018-11-16

[9]

真空蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

匡友元 .

中国专利 :CN103741097A ,2014-04-23

[10]

真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐佐木俊介 ;

氏原祐辅 .

日本专利 :CN118621269A ,2024-09-10

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