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蒸镀坩埚及其蒸镀方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201611181033.6
申请日：
2016-12-20
公开(公告)号：
CN106756804A
公开(公告)日：
2017-05-31
发明(设计)人：
唐凡
陈永胜
申请人：
申请人地址：
430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
代理机构：
深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304
代理人：
孙伟峰;武岑飞
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-06-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729195233 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2016111810336 申请日:20161220 |
| 2020-03-27 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20170531 |
| 2017-05-31 | 公开 | 公开 |