蒸镀线源坩埚和蒸镀设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510072581.8
申请日
2025-01-16
公开(公告)号
CN119800289A
公开(公告)日
2025-04-11
发明(设计)人
王宇钊 刘华猛 李彦松 文官印 王琳琳
申请人
京东方科技集团股份有限公司
申请人地址
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号
C23C14/24
IPC分类号
C23C14/54
代理机构
北京风雅颂专利代理有限公司 11403
代理人
陈莉
法律状态
实质审查的生效
国省代码
北京市 市辖区
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
蒸镀坩埚、蒸镀设备以及蒸镀方法 [P]. 
李楚 ;
陈新亮 ;
苑立阁 .
中国专利 :CN115369361A ,2022-11-22
[2]
蒸镀坩埚和蒸镀装置 [P]. 
裴凤巍 ;
赵子仪 .
中国专利 :CN104762600B ,2015-07-08
[3]
蒸镀坩埚和蒸镀装置 [P]. 
张金中 .
中国专利 :CN104233196A ,2014-12-24
[4]
蒸镀坩埚和蒸镀系统 [P]. 
金龙 ;
黄俊杰 ;
杨文斌 ;
唐富强 .
中国专利 :CN105112855A ,2015-12-02
[5]
蒸镀坩埚及蒸镀设备 [P]. 
牛玉山 ;
刘科雷 .
中国专利 :CN206015075U ,2017-03-15
[6]
蒸镀坩埚及蒸镀设备 [P]. 
牛玉山 .
中国专利 :CN205893377U ,2017-01-18
[7]
蒸镀坩埚及蒸镀设备 [P]. 
张永峰 .
中国专利 :CN105177507B ,2015-12-23
[8]
蒸镀坩埚及其蒸镀方法 [P]. 
唐凡 ;
陈永胜 .
中国专利 :CN106756804A ,2017-05-31
[9]
蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备 [P]. 
徐海 .
中国专利 :CN112877645A ,2021-06-01
[10]
坩埚和蒸镀设备 [P]. 
孙力 ;
王小虎 ;
崔伟 .
中国专利 :CN205774773U ,2016-12-07