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蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110035016.6
申请日：
2021-01-12
公开(公告)号：
CN112877645A
公开(公告)日：
2021-06-01
发明(设计)人：
徐海
申请人：
申请人地址：
230012 安徽省合肥市新站区新站工业物流园内A组团E区宿舍楼15幢
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
代理机构：
北京律智知识产权代理有限公司 11438
代理人：
王辉;阚梓瑄
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-01 | 公开 | 公开 |
| 2021-06-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20210112 |