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蒸镀坩埚及蒸镀设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510566774.5
申请日：
2015-09-08
公开(公告)号：
CN105177507B
公开(公告)日：
2015-12-23
发明(设计)人：
张永峰
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
代理机构：
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：
黄志华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-01-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101643347872 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2015105667745 申请日:20150908 |
| 2017-08-11 | 授权 | 授权 |
| 2015-12-23 | 公开 | 公开 |