蒸镀坩埚及蒸镀系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710692335.8

申请日：

2017-08-14

公开(公告)号：

CN107686968A

公开(公告)日：

2018-02-13

发明(设计)人：

徐超

申请人：

申请人地址：

430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1412

代理机构：

深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300

代理人：

黄威

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-13	公开	公开
2020-06-26	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20180213
2018-03-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20170814

共 50 条

[1]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

崔建勇 .

中国专利 :CN214881794U ,2021-11-26

[2]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

崔建勇 .

中国专利 :CN214881795U ,2021-11-26

[3]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

钱海涛 ;

毕岩 ;

刘萍 .

中国专利 :CN114574809A ,2022-06-03

[4]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

钱海涛 ;

毕岩 ;

刘萍 .

中国专利 :CN214881789U ,2021-11-26

[5]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

崔建勇 .

中国专利 :CN114752896A ,2022-07-15

[6]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

崔建勇 .

中国专利 :CN114752895A ,2022-07-15

[7]

蒸镀坩埚盖及蒸镀坩埚 [P].

朱金华 .

中国专利 :CN208562504U ,2019-03-01

[8]

蒸镀坩埚、蒸镀设备以及蒸镀方法 [P].

李楚 ;

陈新亮 ;

苑立阁 .

中国专利 :CN115369361A ,2022-11-22

[9]

蒸镀坩埚和蒸镀系统 [P].

金龙 ;

黄俊杰 ;

杨文斌 ;

唐富强 .

中国专利 :CN105112855A ,2015-12-02

[10]

蒸镀坩埚及蒸镀设备 [P].

牛玉山 ;

刘科雷 .

中国专利 :CN206015075U ,2017-03-15

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