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蒸镀坩埚和蒸镀系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510631940.5
申请日：
2015-09-29
公开(公告)号：
CN105112855A
公开(公告)日：
2015-12-02
发明(设计)人：
金龙
黄俊杰
杨文斌
唐富强
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
C23C1454
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
杨娟奕
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-12-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101640146766 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2015106319405 申请日:20150929 |
| 2015-12-02 | 公开 | 公开 |
| 2018-10-09 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20151202 |