共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
蒸镀源、蒸镀装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811003679.4
申请日：
2018-08-30
公开(公告)号：
CN108677148B
公开(公告)日：
2018-10-19
发明(设计)人：
孙力
申请人：
申请人地址：
230012 安徽省合肥市新站区工业园内
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
C23C1412
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
柴亮;张天舒
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-20 | 授权 | 授权 |
| 2018-10-19 | 公开 | 公开 |
| 2018-11-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20180830 |