面蒸镀源及其制作方法、蒸镀方法、蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810054822.6

申请日：

2018-01-19

公开(公告)号：

CN110055498B

公开(公告)日：

2019-07-26

发明(设计)人：

王路

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1428

IPC分类号：

C23C1404 H01L5156

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-26	公开	公开
2019-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/28 申请日:20180119
2022-08-12	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸镀源、蒸镀装置 [P].

刘晓云 .

中国专利 :CN109023260A ,2018-12-18

[2]

蒸镀源组件、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

高薇 ;

董圣之 ;

邹德月 ;

陈晓敏 .

中国专利 :CN118932296A ,2024-11-12

[3]

蒸镀源、蒸镀装置 [P].

孙力 .

中国专利 :CN108677148B ,2018-10-19

[4]

一种蒸镀源、蒸镀装置及其蒸镀方法 [P].

贾文斌 ;

孙力 ;

王欣欣 ;

彭锐 ;

万想 ;

任军 .

中国专利 :CN106756807B ,2017-05-31

[5]

蒸镀源及蒸镀方法 [P].

刘金彪 ;

李元星 ;

刘文豪 ;

肖昂 ;

罗楠 ;

晋亚杰 ;

胡斌 ;

李靖 ;

加新星 ;

姬磊 ;

沈萌 ;

孙尚书 ;

高俊 ;

周杰 ;

刘飞 ;

李端瑞 ;

兰代江 ;

党博谭 ;

王天昊 ;

祁泽宙 ;

尹茂吉 .

中国专利 :CN114277339A ,2022-04-05

[6]

蒸镀源及蒸镀方法 [P].

刘金彪 ;

李元星 ;

刘文豪 ;

肖昂 ;

罗楠 ;

晋亚杰 ;

胡斌 ;

李靖 ;

加新星 ;

姬磊 ;

沈萌 ;

孙尚书 ;

高俊 ;

周杰 ;

刘飞 ;

李端瑞 ;

兰代江 ;

党博谭 ;

王天昊 ;

祁泽宙 ;

尹茂吉 .

中国专利 :CN114277339B ,2024-07-16

[7]

一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 .

中国专利 :CN106978588B ,2017-07-25

[8]

一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

罗程远 .

中国专利 :CN106947944A ,2017-07-14

[9]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

马昆松 ;

梁作 ;

任虎鸣 .

中国专利 :CN221566290U ,2024-08-20

[10]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

沈文涛 ;

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

张明照 .

中国专利 :CN209722279U ,2019-12-03

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