一种IGZO薄膜蚀刻液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010371438.6

申请日：

2020-05-06

公开(公告)号：

CN113621373B

公开(公告)日：

2021-11-09

发明(设计)人：

胡涛邢攸美李盈盈王小眉方伟华尹云舰施珂

申请人：

申请人地址：

310000 浙江省杭州市萧山区杭州萧山临江工业园区红十五路9936号

IPC主分类号：

C09K1300

IPC分类号：

H01L2134

代理机构：

杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230

代理人：

郭薇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-09	公开	公开
2021-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 13/00 申请日:20200506
2023-01-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于IGZO导电薄膜的草酸系蚀刻液添加剂、蚀刻液及其制备方法 [P].

徐萍 ;

张伟 .

中国专利 :CN118580859A ,2024-09-03

[2]

平板显示阵列制程用新型IGZO蚀刻液 [P].

王润杰 ;

李华平 ;

郑李辉 ;

卢洪庆 ;

陈文波 .

中国专利 :CN109439329A ,2019-03-08

[3]

一种平板显示用ITO及IGZO蚀刻液及其制备方法 [P].

黄俊群 ;

胡建康 ;

李璐 ;

沈健 ;

高小云 ;

杨亮亮 ;

陈霞 .

中国专利 :CN119842403A ,2025-04-18

[4]

一种铜镍多层薄膜用蚀刻液 [P].

张丽燕 ;

卢燕燕 .

中国专利 :CN107287594A ,2017-10-24

[5]

一种厚铜蚀刻液 [P].

余娟娟 ;

王守飞 ;

吴际峰 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 ;

龚升 .

中国专利 :CN119465153A ,2025-02-18

[6]

一种双剂型蚀刻液 [P].

吴志辉 ;

严为刚 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN120719298A ,2025-09-30

[7]

IGZO膜层的蚀刻液及其蚀刻方法 [P].

甘启明 .

中国专利 :CN107564809A ,2018-01-09

[8]

一种选择蚀刻钨及氮化钛的蚀刻液 [P].

钟昌东 ;

贺兆波 ;

刘悦 ;

张庭 ;

冯凯 ;

尹印 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

李鑫 ;

李金航 .

中国专利 :CN113604803A ,2021-11-05

[9]

一种IGO和IGZO的酸性选择性蚀刻液 [P].

李少平 ;

谢建 ;

王亮 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

叶瑞 ;

彭秋桂 ;

汪凡杰 ;

孟牧麟 ;

吴政 ;

李文飞 .

中国专利 :CN120041209A ,2025-05-27

[10]

一种改善摄像头玻璃镜片干涉条纹的蚀刻液及蚀刻方法 [P].

江学坚 ;

刘克山 .

中国专利 :CN120903839A ,2025-11-07

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