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等离子体处理方法及等离子体处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011335819.5
申请日：
2020-11-25
公开(公告)号：
CN112951698A
公开(公告)日：
2021-06-11
发明(设计)人：
久保田绅治
永关一也
桧森慎司
永海幸一
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
任玉敏
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-11 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20201125 |