共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
电子束蒸发源装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220379953.X
申请日：
2012-08-01
公开(公告)号：
CN202705454U
公开(公告)日：
2013-01-30
发明(设计)人：
叶宗锋
刘惠森
杨明生
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区东莞宏威数码机械有限公司
IPC主分类号：
C23C1430
IPC分类号：
代理机构：
广州三环专利代理有限公司 44202
代理人：
张艳美;郝传鑫
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-01-30 | 授权 | 授权 |
| 2015-10-07 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721733320 IPC(主分类):C23C 14/30 专利号:ZL201220379953X 申请日:20120801 授权公告日:20130130 登记生效日:20150905 解除日:无 |
| 2014-10-29 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706719377 IPC(主分类):C23C 14/30 专利号:ZL201220379953X 申请日:20120801 授权公告日:20130130 登记生效日:无 解除日:20140905 |
| 2015-10-07 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721731283 IPC(主分类):C23C 14/30 专利号:ZL201220379953X 申请日:20120801 授权公告日:20130130 登记生效日:无 解除日:20150905 |
| 2014-01-08 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件序号:101685105519 IPC(主分类):C23C 14/30 专利号:ZL201220379953X 申请日:20120801 授权公告日:20130130 号牌文件类型代码:1602 登记生效日:20131205 解除日:无 |
| 2022-02-22 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20120801 授权公告日:20130130 终止日期:20130801 |
| 2021-10-26 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20120801 授权公告日:20130130 解除日:20210905 |
| 2014-10-29 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706719379 IPC(主分类):C23C 14/30 专利号:ZL201220379953X 申请日:20120801 授权公告日:20130130 登记生效日:20140905 解除日:无 |