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一种电子束蒸发源的加热装置
被引：0
申请号：
CN202220901806.8
申请日：
2022-04-19
公开(公告)号：
CN217459570U
公开(公告)日：
2022-09-20
发明(设计)人：
胡善玮
申请人：
申请人地址：
230000 安徽省合肥市中国（安徽）自由贸易试验区合肥市高新区望江西路800号合肥创新产业园A3楼1层创之汇众创空间B175
IPC主分类号：
C23C1430
IPC分类号：
代理机构：
合肥铭辉知识产权代理事务所(普通合伙) 34212
代理人：
张名列
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-20 | 授权 | 授权 |