阴极电弧等离子体沉积系统中使用的电弧离子蒸发器的过滤装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201490001531.6

申请日：

2014-12-08

公开(公告)号：

CN207489804U

公开(公告)日：

2018-06-12

发明(设计)人：

苏拉萨克·苏仁峰

申请人：

申请人地址：

泰国北榄

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

C23C1432 H01J3734

代理机构：

无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260

代理人：

叶勇

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-12	授权	授权

共 50 条

[1]

树型阴极真空电弧等离子体沉积磁过滤装置 [P].

吴先映 ;

廖斌 ;

黄杰 ;

史学伟 ;

张旭 ;

彭建华 .

中国专利 :CN105296938A ,2016-02-03

[2]

空心阴极电弧等离子体装置 [P].

赵盛福 ;

史旭 ;

张广义 .

中国专利 :CN117998719A ,2024-05-07

[3]

供电弧等离子体沉积用的增强式阴极电弧源 [P].

波里斯·L·宙斯 ;

维克多·卡纳罗 ;

尤里·尼古拉·叶夫图霍夫 ;

山迪普·柯里 ;

方兴杰 .

中国专利 :CN107541705B ,2018-01-05

[4]

管状阴极长电弧等离子体蒸发源 [P].

王殿儒 ;

遇衍澄 .

中国专利 :CN1074247A ,1993-07-14

[5]

电弧等离子体发生器阴极 [P].

杨锡信 ;

李双豆 ;

王洪波 ;

赵龙 ;

王学东 .

中国专利 :CN208227403U ,2018-12-11

[6]

管式阴极电弧等离子体炬 [P].

程昌明 ;

朱海龙 ;

陈伦江 .

中国专利 :CN203504871U ,2014-03-26

[7]

电弧等离子体装置 [P].

周开根 .

中国专利 :CN205336630U ,2016-06-22

[8]

电弧等离子体装置 [P].

周开根 .

中国专利 :CN103200758A ,2013-07-10

[9]

电弧等离子体装置 [P].

周开根 .

中国专利 :CN105554996B ,2016-05-04

[10]

用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置 [P].

H.莫尔格纳 ;

C.梅茨纳 ;

L.德克 ;

T.韦尔纳 ;

H.弗拉斯克 .

中国专利 :CN105848400A ,2016-08-10

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