树型阴极真空电弧等离子体沉积磁过滤装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410334441.5

申请日：

2014-07-14

公开(公告)号：

CN105296938A

公开(公告)日：

2016-02-03

发明(设计)人：

吴先映廖斌黄杰史学伟张旭彭建华

申请人：

申请人地址：

100875 北京市海淀区新街口外大街19号

IPC主分类号：

C23C1432

IPC分类号：

H01J3732 H01J3734

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101649089070 IPC(主分类):C23C 14/32 专利申请号:2014103344415 申请日:20140714
2018-06-05	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/32 申请公布日:20160203
2016-02-03	公开	公开

共 50 条

[1]

圆形靶阴极真空电弧源等离子体磁过滤矩形引出装置 [P].

吴先映 ;

黄杰 ;

廖斌 ;

张荟星 ;

肖天庆 .

中国专利 :CN105887035B ,2016-08-24

[2]

圆形靶阴极真空电弧源等离子体磁过滤矩形引出装置 [P].

吴先映 ;

肖天庆 ;

黄杰 ;

廖斌 ;

张荟星 .

中国专利 :CN204509452U ,2015-07-29

[3]

阴极电弧等离子体沉积系统中使用的电弧离子蒸发器的过滤装置 [P].

苏拉萨克·苏仁峰 .

中国专利 :CN207489804U ,2018-06-12

[4]

一种阴极真空弧等离子体磁过滤装置及其应用 [P].

廖斌 ;

欧阳晓平 ;

张丰收 ;

张旭 ;

吴先映 .

中国专利 :CN108546920A ,2018-09-18

[5]

直流磁过滤阴极真空弧等离子体源 [P].

唐德礼 ;

童洪辉 ;

蒲世豪 ;

谢峰 .

中国专利 :CN101321427A ,2008-12-10

[6]

截面为带状的真空阴极电弧等离子体的磁过滤方法 [P].

李刘合 .

中国专利 :CN102634761B ,2012-08-15

[7]

空心阴极电弧等离子体装置 [P].

赵盛福 ;

史旭 ;

张广义 .

中国专利 :CN117998719A ,2024-05-07

[8]

供电弧等离子体沉积用的增强式阴极电弧源 [P].

波里斯·L·宙斯 ;

维克多·卡纳罗 ;

尤里·尼古拉·叶夫图霍夫 ;

山迪普·柯里 ;

方兴杰 .

中国专利 :CN107541705B ,2018-01-05

[9]

用于传输真空电弧等离子体的方法和装置 [P].

瓦洛迪迈尔·瓦西里耶维奇·瓦斯利夫 ;

瓦洛迪迈尔·埃夫格尼尔维奇·斯特雷恩茨基 .

中国专利 :CN103298969A ,2013-09-11

[10]

电弧等离子体装置 [P].

周开根 .

中国专利 :CN103200758A ,2013-07-10

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