截面为带状的真空阴极电弧等离子体的磁过滤方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110290648.3

申请日：

2011-09-29

公开(公告)号：

CN102634761B

公开(公告)日：

2012-08-15

发明(设计)人：

李刘合

申请人：

申请人地址：

100191 北京市海淀区学院路37号新主楼B座107

IPC主分类号：

C23C1422

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-15	公开	公开
2012-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101367519989 IPC(主分类):C23C 14/22 专利申请号:2011102906483 申请日:20110929
2012-04-25	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101338926173 IPC(主分类):C23C 14/22 专利号:无专利申请号:2011102906483 收件人:李刘合文件名称:视为未要求新颖性宽期限通知书
2015-11-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101633478627 IPC(主分类):C23C 14/22 专利号:ZL2011102906483 申请日:20110929 授权公告日:20140611 终止日期:20140929
2014-06-11	授权	授权
2013-05-01	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101578003973 IPC(主分类):C23C 14/22 专利号:无专利申请号:2011102906483 收件人:李刘合文件名称:发明专利申请进入实质审查阶段通知书

共 50 条

[1]

树型阴极真空电弧等离子体沉积磁过滤装置 [P].

吴先映 ;

廖斌 ;

黄杰 ;

史学伟 ;

张旭 ;

彭建华 .

中国专利 :CN105296938A ,2016-02-03

[2]

圆形靶阴极真空电弧源等离子体磁过滤矩形引出装置 [P].

吴先映 ;

黄杰 ;

廖斌 ;

张荟星 ;

肖天庆 .

中国专利 :CN105887035B ,2016-08-24

[3]

圆形靶阴极真空电弧源等离子体磁过滤矩形引出装置 [P].

吴先映 ;

肖天庆 ;

黄杰 ;

廖斌 ;

张荟星 .

中国专利 :CN204509452U ,2015-07-29

[4]

直流磁过滤阴极真空弧等离子体源 [P].

唐德礼 ;

童洪辉 ;

蒲世豪 ;

谢峰 .

中国专利 :CN101321427A ,2008-12-10

[5]

空心阴极电弧等离子体装置 [P].

赵盛福 ;

史旭 ;

张广义 .

中国专利 :CN117998719A ,2024-05-07

[6]

供电弧等离子体沉积用的增强式阴极电弧源 [P].

波里斯·L·宙斯 ;

维克多·卡纳罗 ;

尤里·尼古拉·叶夫图霍夫 ;

山迪普·柯里 ;

方兴杰 .

中国专利 :CN107541705B ,2018-01-05

[7]

电弧等离子体发生器阴极 [P].

杨锡信 ;

李双豆 ;

王洪波 ;

赵龙 ;

王学东 .

中国专利 :CN208227403U ,2018-12-11

[8]

管式阴极电弧等离子体炬 [P].

程昌明 ;

朱海龙 ;

陈伦江 .

中国专利 :CN203504871U ,2014-03-26

[9]

双向过滤电弧等离子体源 [P].

理查德·P·韦尔蒂 .

中国专利 :CN101068449A ,2007-11-07

[10]

阴极电弧等离子体沉积系统中使用的电弧离子蒸发器的过滤装置 [P].

苏拉萨克·苏仁峰 .

中国专利 :CN207489804U ,2018-06-12

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