光学膜片翘曲力测量装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610727752.7
申请日
2016-08-26
公开(公告)号
CN106404252A
公开(公告)日
2017-02-15
发明(设计)人
孙盛军
申请人
申请人地址
215121 江苏省苏州市工业园区春辉路13号
IPC主分类号
G01L500
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
翘曲测量装置 [P]. 
冯彬 ;
张诺琦 ;
李慧 ;
谢程阳 .
中国专利 :CN223321235U ,2025-09-09
[2]
翘曲测量装置 [P]. 
陆玉花 .
中国专利 :CN207779320U ,2018-08-28
[3]
表面翘曲测量板以及翘曲测量装置 [P]. 
金秉胄 .
中国专利 :CN203349789U ,2013-12-18
[4]
一种光学膜片翘曲管控装置 [P]. 
吕奎 .
中国专利 :CN206946011U ,2018-01-30
[5]
基板翘曲测量装置及测量方法 [P]. 
何清燕 ;
蒋辉霞 ;
曹合荣 ;
李光辉 ;
王利 ;
廖功磊 ;
郑宇 ;
陈爽 .
中国专利 :CN117238812B ,2024-04-05
[6]
翘曲测量方法、翘曲测量装置及成膜系统 [P]. 
刘明军 ;
徐春阳 ;
王平均 ;
郑冬 ;
刘雷 .
中国专利 :CN114061477B ,2022-02-18
[7]
平面曲翘度测量装置 [P]. 
徐春云 ;
卢罗宗 ;
彭成瑞 ;
周献满 .
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[8]
晶圆翘曲测量方法及晶圆翘曲测量装置 [P]. 
王旭 ;
朱龙龙 .
中国专利 :CN119245556A ,2025-01-03
[9]
集成晶片翘曲测量 [P]. 
拉詹·阿罗拉 ;
迈克尔·苏扎 ;
韦恩·邓 ;
亚辛·卡布兹 ;
冯烨 .
美国专利 :CN120637249A ,2025-09-12
[10]
力测量装置 [P]. 
李鼎 ;
李进 .
中国专利 :CN222188627U ,2024-12-17