基板翘曲测量装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311491279.3

申请日：

2023-11-10

公开(公告)号：

CN117238812B

公开(公告)日：

2024-04-05

发明(设计)人：

何清燕蒋辉霞曹合荣李光辉王利廖功磊郑宇陈爽

申请人：

四川省农业机械科学研究院

申请人地址：

610066 四川省成都市二环路东4段牛沙路5号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

G01B21/32

代理机构：

成都玖和知识产权代理事务所(普通合伙) 51238

代理人：

胡琳梅;刘毅飞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-05	授权	授权
2024-01-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20231110

共 50 条

[1]

翘曲测量方法、翘曲测量装置及成膜系统 [P].

刘明军 ;

徐春阳 ;

王平均 ;

郑冬 ;

刘雷 .

中国专利 :CN114061477B ,2022-02-18

[2]

晶圆翘曲测量方法及晶圆翘曲测量装置 [P].

王旭 ;

朱龙龙 .

中国专利 :CN119245556A ,2025-01-03

[3]

冷轧薄带钢翘曲激光测量装置及测量方法 [P].

吴首民 ;

潘亮 ;

李秀军 .

中国专利 :CN105444689A ,2016-03-30

[4]

水泥基板翘曲的测量方法 [P].

邓宽 ;

赵希娟 ;

秦林超 ;

刘言 ;

张剑 ;

程大业 ;

王满凯 ;

张腾 ;

杨明 ;

姚涛 .

中国专利 :CN118089601A ,2024-05-28

[5]

质心测量装置及测量方法 [P].

牛丽丽 ;

庞峰 ;

崔俊荣 ;

刘永哲 ;

任广笑 ;

申成龙 ;

郭慧强 ;

邹悦 ;

王丙文 .

中国专利 :CN119063911A ,2024-12-03

[6]

晶圆翘曲程度测量方法及装置 [P].

陈子琪 .

中国专利 :CN108828267A ,2018-11-16

[7]

翘曲测量装置 [P].

冯彬 ;

张诺琦 ;

李慧 ;

谢程阳 .

中国专利 :CN223321235U ,2025-09-09

[8]

环锻件翘曲测量的装置及基于其的翘曲测量方法 [P].

刘国军 ;

杨虹 ;

张荣旺 ;

胡金涛 ;

徐梓淇 ;

郑方园 ;

任丽媛 ;

井坤 ;

仇平 .

中国专利 :CN119437065A ,2025-02-14

[9]

一种PVC地板翘曲设备及其测量方法 [P].

陶明建 ;

雍建辉 ;

王成林 .

中国专利 :CN118189778B ,2024-09-10

[10]

一种PVC地板翘曲设备及其测量方法 [P].

陶明建 ;

雍建辉 ;

王成林 .

中国专利 :CN118189778A ,2024-06-14

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