冷轧薄带钢翘曲激光测量装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410412430.4

申请日：

2014-08-20

公开(公告)号：

CN105444689A

公开(公告)日：

2016-03-30

发明(设计)人：

吴首民潘亮李秀军

申请人：

申请人地址：

201900 上海市宝山区富锦路885号

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

代理机构：

上海集信知识产权代理有限公司 31254

代理人：

肖祎

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-15	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 11/24 申请公布日:20160330
2016-03-30	公开	公开
2016-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101657702186 IPC(主分类):G01B 11/24 专利申请号:2014104124304 申请日:20140820

共 50 条

[1]

基板翘曲测量装置及测量方法 [P].

何清燕 ;

蒋辉霞 ;

曹合荣 ;

李光辉 ;

王利 ;

廖功磊 ;

郑宇 ;

陈爽 .

中国专利 :CN117238812B ,2024-04-05

[2]

翘曲测量方法、翘曲测量装置及成膜系统 [P].

刘明军 ;

徐春阳 ;

王平均 ;

郑冬 ;

刘雷 .

中国专利 :CN114061477B ,2022-02-18

[3]

晶圆翘曲测量方法及晶圆翘曲测量装置 [P].

王旭 ;

朱龙龙 .

中国专利 :CN119245556A ,2025-01-03

[4]

激光测量装置及激光测量方法 [P].

笹川正 ;

夏目佳史 ;

寺冈延尉 ;

浅沼俊一 .

中国专利 :CN101253386A ,2008-08-27

[5]

DBC基板翘曲激光测量装置 [P].

吴燕青 ;

贺贤汉 ;

戴洪兴 ;

鲁瑞平 .

中国专利 :CN202938794U ,2013-05-15

[6]

DBC基板翘曲激光测量装置 [P].

吴燕青 ;

贺贤汉 ;

戴洪兴 ;

鲁瑞平 .

中国专利 :CN102967273A ,2013-03-13

[7]

晶圆翘曲程度测量方法及装置 [P].

陈子琪 .

中国专利 :CN108828267A ,2018-11-16

[8]

一种激光测量装置及激光测量方法 [P].

贺行健 ;

陈虎 ;

于本宏 ;

宫兴林 ;

郝天阳 ;

林阳 ;

李兴岳 ;

于畅 ;

邓鑫 .

中国专利 :CN114274017A ,2022-04-05

[9]

一种激光测量装置及激光测量方法 [P].

贺行健 ;

陈虎 ;

于本宏 ;

宫兴林 ;

郝天阳 ;

林阳 ;

李兴岳 ;

于畅 ;

邓鑫 .

中国专利 :CN114274017B ,2025-08-05

[10]

翘曲测量装置 [P].

冯彬 ;

张诺琦 ;

李慧 ;

谢程阳 .

中国专利 :CN223321235U ,2025-09-09

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