一种硅微机械谐振压力传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620414514.6

申请日：

2016-05-10

公开(公告)号：

CN205607566U

公开(公告)日：

2016-09-28

发明(设计)人：

方道德

申请人：

申请人地址：

325011 浙江省温州市龙湾区蒲州街道文昌路209号C幢236

IPC主分类号：

G01L110

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L 1/10 申请日:20160510 授权公告日:20160928 终止日期:20170510
2016-09-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于MEMS技术的硅微机械谐振压力传感器 [P].

赵善文 .

中国专利 :CN211147907U ,2020-07-31

[2]

一种“中”字形谐振式硅微机械压力传感器 [P].

樊尚春 ;

郭占社 .

中国专利 :CN100465088C ,2007-06-27

[3]

一种基于MEMS技术的硅微机械谐振压力传感器 [P].

赵善文 .

中国专利 :CN110926659A ,2020-03-27

[4]

微机械压力传感器 [P].

V·森兹 ;

R·毛尔 ;

T·德盖伊 ;

T·弗里德里希 ;

A·丹嫩贝格 ;

F·卢卡奇 ;

H·格鲁茨埃克 ;

F·霍伊克 ;

M·施瓦茨 .

中国专利 :CN110383027A ,2019-10-25

[5]

微机械压力传感器 [P].

F·格拉巴迈尔 ;

E·舍尔克斯 ;

T·林德曼 .

中国专利 :CN107032296B ,2017-08-11

[6]

微机械本体声波谐振器压力传感器 [P].

斯里尼瓦·塔迪加达帕 ;

尼希特·戈尔 ;

斯蒂芬·巴特 .

中国专利 :CN109154533A ,2019-01-04

[7]

一种微机械压力传感器 [P].

孙明 .

中国专利 :CN105021324A ,2015-11-04

[8]

一种硅谐振压力传感器 [P].

李佩宁 ;

钟长志 ;

李晓波 ;

陈婷婷 .

中国专利 :CN223727309U ,2025-12-26

[9]

微机械的压力传感器 [P].

C.舍林 ;

R.哈斯 .

中国专利 :CN104204755B ,2014-12-10

[10]

微机械压力传感器以及用于制造微机械压力传感器的方法 [P].

A·丹嫩贝格 ;

T·亨 .

中国专利 :CN110476047A ,2019-11-19

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