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微机械压力传感器以及用于制造微机械压力传感器的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880022082.6
申请日：
2018-03-23
公开(公告)号：
CN110476047A
公开(公告)日：
2019-11-19
发明(设计)人：
A·丹嫩贝格 T·亨
申请人：
申请人地址：
德国斯图加特
IPC主分类号：
G01L1914
IPC分类号：
B29C4514 B81B700 G01L900
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
侯鸣慧
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-04-21 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 19/14 申请日:20180323
2022-09-02 发明专利申请公布后的驳回 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01L 19/14 申请公布日:20191119
2019-11-19 公开 公开
共 50 条
[1]
微机械压力传感器和用于制造微机械压力传感器的方法 [P]. 
F·韦尔克 ;
C·于芬格 ;
D·S·波德别尔 .
德国专利 :CN117664430A ,2024-03-08
[2]
微机械压力传感器 [P]. 
V·森兹 ;
R·毛尔 ;
T·德盖伊 ;
T·弗里德里希 ;
A·丹嫩贝格 ;
F·卢卡奇 ;
H·格鲁茨埃克 ;
F·霍伊克 ;
M·施瓦茨 .
中国专利 :CN110383027A ,2019-10-25
[3]
微机械压力传感器 [P]. 
F·格拉巴迈尔 ;
E·舍尔克斯 ;
T·林德曼 .
中国专利 :CN107032296B ,2017-08-11
[4]
微机械压力传感器组件和用于制造微机械压力传感器组件的方法 [P]. 
M·克瑙斯 ;
R·屈尔斯 ;
U·席勒 ;
L·绍丹 ;
S·舒勒-瓦特金斯 ;
D·豪格 .
中国专利 :CN111033204A ,2020-04-17
[5]
微机械压力传感器装置的制造方法和相应的微机械压力传感器装置 [P]. 
武震宇 .
中国专利 :CN106986301B ,2017-07-28
[6]
微机械的压力传感器 [P]. 
C.舍林 ;
R.哈斯 .
中国专利 :CN104204755B ,2014-12-10
[7]
用于制造用于微机械压力传感器的MEMS装置的方法 [P]. 
T·克拉默 ;
T·弗里德里希 ;
A·丹嫩贝格 ;
J·弗里茨 .
中国专利 :CN110402233A ,2019-11-01
[8]
微机械压力传感器装置以及相应的制造方法 [P]. 
A·克尔布尔 ;
J·赖因穆特 ;
J·克拉森 .
中国专利 :CN104773705A ,2015-07-15
[9]
微机械压力传感器装置以及相应的制造方法 [P]. 
J·克拉森 .
中国专利 :CN106170682A ,2016-11-30
[10]
微机械压力传感器装置以及相应的制造方法 [P]. 
J·克拉森 ;
J·赖因穆特 ;
A·克尔布尔 .
中国专利 :CN105940287A ,2016-09-14
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